- эпитаксиальная ориентация
- Microelectronics: epitaxial alignment
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
ЭПИТАКСИЯ — (от греч. epi на и taxis расположение, порядок), ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого (подложки). Различают гетероэпитаксию, когда в ва подложки и нарастающего кристалла различны, и г о м о э п и т а к с и ю… … Физическая энциклопедия